光刻机龙头股上市公司有：
大族激光：龙头，近3日大族激光下跌1.11%，现报26.03元，2023年股价下跌-0.11%，总市值274.8亿元。
从公司近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为76.23%，最高为2021年的19.94亿元。
2020年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
华特气体：龙头，近3日股价上涨2.57%，2023年股价上涨0.9%。
从华特气体近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为33.47%，最高为2021年的1.29亿元。
光刻机概念股其他的还有：
智光电气：回顾近7个交易日，智光电气有5天上涨。期间整体上涨11.66%，最高价为7.54元，最低价为9.02元，总成交量1.89亿手。
永太科技：近7日股价上涨3.62%，2023年股价上涨1.63%。
奥普光电：在近7个交易日中，奥普光电有5天上涨，期间整体上涨5.43%，最高价为23.86元，最低价为22.12元。和7个交易日前相比，奥普光电的市值上涨了3.07亿元。
